圖拉特Thyracont VSL54D真空計(jì)VSL53D

德國Thyracont多年來一直生產(chǎn)和供應(yīng)thyracont真空計(jì)，并為客戶提供定制的控制解決方案。thyracont愿與您一起提出高質(zhì)量的解決方案和產(chǎn)品。

主要產(chǎn)品及特點(diǎn)：

Thyracont真空計(jì)、thyracont電容真空計(jì)、thyracont皮拉尼真空計(jì)、thyracont耐腐蝕真空計(jì)、thyracont便攜式真空計(jì)、thyracont真空離子規(guī)。

thyracont真空計(jì)特點(diǎn)：

thyracont真空計(jì)都可提供其測試證書與工程校準(zhǔn)證書。該兩項(xiàng)證書均可以追溯到德國國家校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室（DKD）標(biāo)準(zhǔn)。

thyracont真空計(jì)對(duì)金屬密封傳感器的氦檢漏測試結(jié)果表明漏率小于5x10-10 m bar l/s

在長期穩(wěn)定性方面，thyracont真空計(jì)都經(jīng)過定期的和隨機(jī)不定期的測試。

thyracont真空計(jì)都有溫度補(bǔ)償，通過4點(diǎn)校準(zhǔn)法進(jìn)行校驗(yàn)

真空傳感器VSL是專門為負(fù)載鎖開發(fā)的。金屬密封壓力表采用多傳感器技術(shù)，并將兩個(gè)壓電元件與皮拉尼傳感器相結(jié)合。因此，真空傳感器測量1200…1e-4毫巴范圍內(nèi)的絕對(duì)壓力以及-1060…+340毫巴范圍與環(huán)境相關(guān)的相對(duì)壓力。

概述：帶壓電/皮拉尼多傳感器的VSL真空傳感器：

集成多傳感器系統(tǒng)：兩個(gè)壓電隔膜傳感器，用于監(jiān)測腔室泵送下降和排氣上升?; 皮拉尼傳感器測量值低至10-4毫巴，控制負(fù)載鎖和處理室之間的低壓傳輸，最大限度地減少顆粒事件

關(guān)鍵點(diǎn)：用于精確觸發(fā)車門打開功能的壓差輸出

精確：高精度、最佳分辨率和出色的穩(wěn)定性

快速：響應(yīng)時(shí)間短至40毫秒

穩(wěn)定讀數(shù)：由于優(yōu)化的溫度補(bǔ)償

與氣體類型無關(guān)：測量值與20毫巴以上的氣體類型無關(guān)

Smartline真空傳感器概述：

多種接口：數(shù)字RS485接口加上0-10 V輸出信號(hào)，EtherCAT或Profinet。藍(lán)牙適配器SLKBT支持無線通信

可更換傳感器頭：這是一項(xiàng)簡單的工作，獨(dú)立于儀表制造商，無需編程。如果應(yīng)進(jìn)一步使用現(xiàn)有電纜，則應(yīng)提供合適的適配器（如FCC68）。

可選顯示器：大型液晶顯示器（除EtherCAT、Profinet外）

易于調(diào)整：通過按鈕或界面重新調(diào)整零點(diǎn)和大氣

LED：用于設(shè)備狀態(tài)和開關(guān)點(diǎn)

可縮放輸出特性：可根據(jù)所需的輸出特性縮放0-10 V輸出信號(hào)。因此，更換現(xiàn)有真空計(jì)很容易，不依賴于制造商，并且不需要編程。如果電纜需要保留，但傳感器需要更換，則可以使用適配器（如FCC68）。

超高壓適用：金屬密封不銹鋼傳感器單元，適用于超高壓應(yīng)用（He浸出率<5e-10 mbar l/s）

繼電器開關(guān)點(diǎn)：兩個(gè)獨(dú)立的無電勢繼電器開關(guān)點(diǎn)（除EtherCAT、Profinet外）

堅(jiān)固：抗電磁兼容金屬外殼，防護(hù)等級(jí)達(dá)到IP54

控制器：可擴(kuò)展為2信道控制器VD12或4信道控制器VD14

VacuGraphTM Windows軟件：用于測量數(shù)據(jù)的可視化、分析和存儲(chǔ)

DN 16 CF-F(VSL54D)

DN 16 CF-F(VSL54DL)

DN 16 CF-F(VSL54E)

DN 16 CF-F(VSL54PN)

DN 16 ISO-KF(VSL53D)

DN 16 ISO-KF(VSL53DL)

DN 16 ISO-KF(VSL53E)

DN 16 ISO-KF(VSL53PN)

圖拉特Thyracont VSL54D真空計(jì)VSL53D